76.2mm(3인치) 웨이퍼는 50mm 웨이퍼가 도입된 직후인 1973년에 처음으로 도입되었으며 현재도 여전히 대학교 연구소등에서 광범위하게 사용되고 있습니다. 아래 리스트는 SVM이 보유하고 있는 75.6mm 웨이퍼의 범용 규격을 열거한 것입니다. 찾으시는 규격이 없으시거나 문의 사항이 있으시면 당사로 직접 문의해 주시기 바랍니다.

Diameter: 76.2 +/- 0.2 mm
Type/Dopant: N/Phosphorus
Orientation: <100> +/- 1
Growth Method: Cz
Resistivity: 10-20 Ω-cm
Thickness: 350-400 μm
Front Surface: Polished
Back Surface: Etched
Flats: 2 SEMI Standard
Edges: Rounded and polished per SEMI Standard

Diameter: 76.2 +/- 0.2 mm
Type/Dopant: P/Boron
Orientation: <100> +/- 1
Growth Method: Cz
Resistivity: 1-100 Ω-cm
Thickness: 350-400 μm
Front Surface: Polished
Back Surface: Etched
Flats: 2 SEMI Standard
Edges: Rounded and polished per SEMI Standard

Diameter: 76.2 +/- 0.2 mm
Type/Dopant: Customer Specified
Orientation: Customer Specified
Growth Method: Cz
Resistivity: Customer Specified
Thickness: Customer Specified
Front Surface: Polished
Back Surface: Customer Specified
Flats: 2 SEMI Standard
Edges: Rounded and polished per SEMI Standard