Epitaxial Wafers

“Epitaxial이라는 말은 그리스어의 "위에 정렬되다"라는 의미에 어원을 두고 있으며 반도체 용어상으로 이 단어는 단결정 구조를 가진 필름을 뜻합니다. 이는 CVD reactor안에서 실리콘 웨이퍼 위에 실리콘 원자가 적층되는 것을 말하며 반응 가스와 시스템 설정이 정확히 되었을 경우 이 원자들은 충분한 에너지를 가지고웨이퍼 표면에 적층된 이후 웨이퍼 표면의 결정 배열과 동일한 배열을 형성할 수 있게 됩니다. 예를 들면 <111> 방향성을 가진 웨이퍼 표면에서 에피층이 형성될 경우 동일한 <111> 방향성을 가지게 됩니다.

만일 웨이퍼 표면에 얇은 산화막이 존재하거나 무정형성일 경우 또는 오염이 되었을 시에는 에피층은 결정 방향성을 가지게 못하게 되어 결국 무정형 다결정 실리콘이 형성되게 됩니다. 이러한 특징은 MOS gate와 같은 일부 어플리케이션에 매우 유용하게 사용되기도 하나 단결정 형성이 목적일 경우에는 해당되지 않습니다.”

Microchip Fabrication fourth edition by Peter Van Zant, 2000

SVM은 다양한 에피 웨이퍼를 충분히 보유하고 있으며 고객 분들이 원하는 별도의 규격에 맞추어 공급하는 것도 가능합니다. 추가적인 문의 사항이 있으실 경우 당사로 문의해 주시기 바랍니다.